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商丘市(民权县、睢县、柘城县、梁园区、睢阳区、夏邑县、宁陵县、虞城县、永城市)

绵阳市(涪城区、盐亭县、游仙区、北川羌族自治县、梓潼县、三台县、安州区、平武县、江油市)

防城港市(防城区、东兴市、港口区、上思县)

赤峰市(巴林左旗、敖汉旗、翁牛特旗、阿鲁科尔沁旗、松山区、喀喇沁旗、巴林右旗、林西县、红山区、宁城县、克什克腾旗、元宝山区)  菏泽市(单县、牡丹区、曹县、成武县、郓城县、东明县、巨野县、鄄城县、定陶区)

西宁市(大通回族土族自治县、湟源县、城西区、城东区、城中区、湟中区、城北区)

凉山彝族自治州(布拖县、宁南县、美姑县、甘洛县、会理市、西昌市、会东县、金阳县、越西县、雷波县、普格县、冕宁县、昭觉县、德昌县、盐源县、喜德县、木里藏族自治县)

常州市(武进区、金坛区、新北区、钟楼区、天宁区、溧阳市)

阳泉市(城区、郊区、矿区、平定县、盂县)  上饶市(横峰县、广丰区、弋阳县、鄱阳县、广信区、婺源县、万年县、铅山县、玉山县、余干县、信州区、德兴市)

保定市(顺平县、徐水区、雄县、莲池区、涞水县、定兴县、满城区、唐县、安新县、蠡县、高碑店市、高阳县、涞源县、涿州市、容城县、曲阳县、博野县、定州市、望都县、竞秀区、阜平县、易县、安国市、清苑区)

大兴安岭地区(塔河县、漠河市、呼玛县)

大庆市(林甸县、肇州县、龙凤区、萨尔图区、大同区、让胡路区、肇源县、红岗区、杜尔伯特蒙古族自治县)

铜仁市(碧江区、玉屏侗族自治县、德江县、沿河土家族自治县、松桃苗族自治县、石阡县、印江土家族苗族自治县、江口县、思南县、万山区)

聊城市(高唐县、东昌府区、阳谷县、东阿县、莘县、临清市、冠县、茌平区)

白城市(洮北区、通榆县、镇赉县、洮南市、大安市)

西安市(灞桥区、长安区、临潼区、蓝田县、碑林区、鄠邑区、阎良区、未央区、高陵区、周至县、莲湖区、雁塔区、新城区)

抚顺市(望花区、抚顺县、新抚区、新宾满族自治县、清原满族自治县、顺城区、东洲区)

通化市(柳河县、集安市、二道江区、辉南县、通化县、东昌区、梅河口市)

大连市(瓦房店市、长海县、甘井子区、普兰店区、沙河口区、金州区、旅顺口区、西岗区、中山区、庄河市)

阿里地区(措勤县、普兰县、札达县、改则县、噶尔县、日土县、革吉县)

铜川市(耀州区、宜君县、王益区、印台区)

普洱市(西盟佤族自治县、景谷傣族彝族自治县、江城哈尼族彝族自治县、镇沅彝族哈尼族拉祜族自治县、孟连傣族拉祜族佤族自治县、宁洱哈尼族彝族自治县、景东彝族自治县、墨江哈尼族自治县、思茅区、澜沧拉祜族自治县)

岳阳市(岳阳县、岳阳楼区、汨罗市、平江县、云溪区、临湘市、君山区、华容县、湘阴县)

济宁市(微山县、梁山县、嘉祥县、任城区、泗水县、金乡县、汶上县、兖州区、曲阜市、鱼台县、邹城市)

铁岭市(银州区、西丰县、调兵山市、铁岭县、开原市、清河区、昌图县)

邵阳市(武冈市、大祥区、隆回县、北塔区、城步苗族自治县、绥宁县、邵阳县、邵东市、双清区、洞口县、新宁县、新邵县)

甘孜藏族自治州(道孚县、石渠县、泸定县、雅江县、巴塘县、乡城县、得荣县、康定市、丹巴县、德格县、白玉县、九龙县、甘孜县、炉霍县、稻城县、色达县、理塘县、新龙县)

宁波市(海曙区、奉化区、鄞州区、余姚市、镇海区、宁海县、江北区、慈溪市、象山县、北仑区)

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营口市(鲅鱼圈区、西市区、老边区、盖州市、大石桥市、站前区)

六安市(舒城县、霍邱县、金安区、霍山县、叶集区、金寨县、裕安区)

巴彦淖尔市(磴口县、乌拉特中旗、临河区、乌拉特后旗、杭锦后旗、五原县、乌拉特前旗)

宜昌市(夷陵区、点军区、伍家岗区、猇亭区、宜都市、兴山县、秭归县、五峰土家族自治县、西陵区、枝江市、当阳市、远安县、长阳土家族自治县)  克孜勒苏柯尔克孜自治州(阿克陶县、阿图什市、阿合奇县、乌恰县)

怒江傈僳族自治州(福贡县、兰坪白族普米族自治县、贡山独龙族怒族自治县、泸水市)

塔城地区(托里县、塔城市、沙湾市、乌苏市、裕民县、和布克赛尔蒙古自治县、额敏县)

贺州市(平桂区、富川瑶族自治县、昭平县、钟山县、八步区)江门市(恩平市、蓬江区、鹤山市、台山市、开平市、江海区、新会区)

开封市(尉氏县、兰考县、鼓楼区、祥符区、龙亭区、顺河回族区、通许县、杞县、禹王台区)  青岛市(黄岛区、崂山区、即墨区、胶州市、李沧区、平度市、市南区、莱西市、市北区、城阳区)

潮州市(湘桥区、潮安区、饶平县)

牡丹江市(西安区、东宁市、爱民区、阳明区、绥芬河市、林口县、穆棱市、海林市、东安区、宁安市)

吕梁市(交城县、兴县、岚县、汾阳市、临县、交口县、石楼县、中阳县、离石区、方山县、文水县、柳林县、孝义市)大理白族自治州(永平县、巍山彝族回族自治县、宾川县、剑川县、弥渡县、祥云县、大理市、漾濞彝族自治县、鹤庆县、洱源县、云龙县、南涧彝族自治县)

鹤壁市(山城区、鹤山区、淇滨区、淇县、浚县)

惠州市(博罗县、龙门县、惠阳区、惠东县、惠城区)

汕尾市(城区、陆河县、海丰县、陆丰市)

莆田市(城厢区、秀屿区、荔城区、涵江区、仙游县)

攀枝花市(东区、盐边县、仁和区、米易县、西区)

怀化市(中方县、鹤城区、麻阳苗族自治县、溆浦县、会同县、靖州苗族侗族自治县、芷江侗族自治县、新晃侗族自治县、辰溪县、沅陵县、洪江市、通道侗族自治县)

定西市(漳县、安定区、陇西县、渭源县、临洮县、岷县、通渭县)

南充市(嘉陵区、南部县、阆中市、仪陇县、蓬安县、高坪区、西充县、营山县、顺庆区)

楚雄彝族自治州(楚雄市、南华县、牟定县、禄丰市、大姚县、武定县、双柏县、永仁县、姚安县、元谋县)

汉中市(洋县、镇巴县、留坝县、略阳县、勉县、西乡县、汉台区、南郑区、佛坪县、城固县、宁强县)

鹤岗市(东山区、兴安区、兴山区、南山区、工农区、绥滨县、萝北县、向阳区)

石嘴山市(平罗县、大武口区、惠农区)

长沙市(长沙县、天心区、浏阳市、芙蓉区、雨花区、宁乡市、望城区、岳麓区、开福区)

襄阳市(保康县、宜城市、樊城区、南漳县、谷城县、枣阳市、老河口市、襄城区、襄州区)

柳州市(鹿寨县、城中区、柳城县、柳江区、融安县、鱼峰区、柳北区、柳南区、三江侗族自治县、融水苗族自治县)

哈尔滨市(巴彦县、道外区、双城区、阿城区、依兰县、尚志市、方正县、延寿县、香坊区、南岗区、呼兰区、平房区、木兰县、松北区、宾县、道里区、五常市、通河县)

中国半导体设备产业动态频频，以中微公司和北方华创为代表的国内龙头企业纷纷展现强劲的增长势头和战略布局。中微公司通过大幅增资强化技术研发和市场拓展，巩固其在刻蚀设备领域的领先地位；北方华创则通过对外投资和股权收购，积极拓展业务版图，并在业绩上实现显著增长。

众所周知，中国正在加紧推进半导体的国产化进程，其中设备作为半导体产业的基石，其国产化水平决定着整个半导体产业链的自主可控程度。近期有预测称，到2025年中国大陆半导体设备整体国产化率有望达到50%，该消息引起了行业一众关注。究竟真实进展如何？

中微公司增资至40亿，增幅300%

4月21日，企查查显示，中微半导体（上海）有限公司宣布注册资本由10亿元人民币增至40亿元人民币，增幅达300%。通过增资，中微公司将进一步增强资金实力，加速技术研发和市场拓展，提升在全球半导体设备市场的竞争力。

中微公司2024年财报显示，公司实现营业收入90.65亿元，同比增长44.7%，其中刻蚀设备贡献超72亿元，同比增长54.7%，稳居国产刻蚀设备龙头。尽管净利润约16.16亿元，同比下滑9.5%，但扣非净利润约13.88亿元，同比增长16.5%。这一下滑主要受研发投入激增影响，2024年研发费用达24.5亿元，同比增长94.3%。公司创始人尹志尧表示，2024年人均销售超过400万元，达到设备产业国际先进水平。

从出货设备来看，刻蚀领域，该公司的CCP刻蚀设备2024年生产付运超过1200反应台，创历史新高，累计装机量超过4000反应台；薄膜沉积设备领域，LPCVD设备累计出货量已突破150个反应台，2024年获得约4.76亿元批量订单，ALD（原子层沉积）设备和其他关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进，EPI（外延）设备已顺利进入客户端量产验证阶段。

量测设备领域，中微公司控股子公司超微半导体设备（上海）有限公司拟增资至1.6亿元，中微公司持股比例将降至47.2%，但仍保持控制权。据悉，超微公司重点开发电子束量检测设备，该设备是芯片制造和先进封装工艺中的关键设备，对我国发展新质生产力至关重要。

今年1月，中微公司计划在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备（成都）有限公司，建设研发及生产基地暨西南总部项目。项目总投资约30.5亿元，主要用于研发薄膜设备。该公司将作为中微公司的西南总部，建设包括研发中心、生产基地和配套设施，预计2025年开工，2027年投入生产。

北方华创：拟向全资子公司增资4亿元，并参与北京电控增资

4月18日，北方华创公告，公司拟以全资子公司北方华创创新投资(北京)有限公司作为出资平台，与北京电子控股有限责任公司（以下简称“北京电控”）各出资4亿元人民币，以非公开协议方式向北京电控控股子公司北京电控产业投资有限公司增资。

据悉，电控产投将主要通过基金和股权投资方式，围绕集成电路、人工智能、物联网等应用领域，投资布局发展潜力大、技术或产品好的标的企业。此次增资总额为8亿元，其中北方华创出资4亿元，北京电控出资4亿元。增资完成后，电控产投注册资本将增至18.57亿元，北方华创持股比例为17.6847%。

资料显示，电控产投成立于2008年10月30日，注册资本12亿元，股权结构上，北京电控持有50%的股权、京东方持有33.3%股权、电子城持有16.7%股权。

值得注意的是，当前北方华创持续扩大业务布局。今年3月31日，北方华创公告，受让沈阳中科天盛自动化技术有限公司（下称“中科天盛”）持有的芯源微股份1690万股，占芯源微总股本的8.41%。更早前的3月10日，北方华创与沈阳先进制造技术产业有限公司（下称“先进制造”）签署了股份转让协议，北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份，合计1906.49万股，交易金额为16.87亿元。

受益于半导体行业回暖，北方华创业绩亮眼。2024年，北方华创实现营业收入298.38亿元，同比增长35.14%；归属于上市公司股东的净利润为56.21亿元，同比增长44.17%。该公司还发布了2025年一季度业绩预告显示，预计实现营收73.4亿元至89.8亿元，同比增长23.35%-50.91%；预计实现归母净利润14.2亿元至17.4亿元，同比增长24.69%-52.79%。

北方华创表示，2024年公司深耕半导体基础产品领域，经营业绩稳定增长。公司集成电路装备领域多款新产品取得突破，工艺覆盖度及市场占有率显著增长，产品销量同比大幅度增加。今年一季度，公司集成电路装备领域电容耦合等离子体刻蚀设备（CCP）、原子层沉积设备（ALD）、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破，工艺覆盖度显著增长，同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。凭借优良的产品、技术和服务优势，公司市场份额持续扩大，营业收入同比提升。

中国半导体设备国产化进程飙升

据SEMI数据，中国作为全球最大的半导体消费市场，强劲的市场需求为半导体设备产业的发展提供了强大动力。近年来，国内半导体设备企业在技术突破和国产替代方面持续发力并取得显著进展。以北方华创、中微公司、盛美上海等为代表的设备公司，在技术研发和市场拓展上成果斐然，逐步成为市场竞争中的重要力量。截至2024年，中国半导体设备国产化率提升至13.6%，在刻蚀、清洗、去胶和CMP设备市场，国产化率已突破双位数。尽管光刻设备与国际先进水平仍存在差距，但也取得了部分突破。

全球前五大半导体设备厂商均专注于前道设备应用，分别是应用材料、ASML、东京电子、Lam Research和科磊（KLA）。其中，应用材料、东京电子、泛林半导体是平台型企业，业务横跨刻蚀、薄膜、清洗、离子注入等多个领域，而ASML和KLA属于细分领域龙头。从行业发展趋势来看，向平台型企业发展是进入全球设备第一梯队的关键路径。

由上表可知，在中国大陆，我国目前在发展平台型设备厂商方面卓有成效的主要有北方华创、中微公司、盛美上海和万业企业，而在各细分领域也出现了诸如拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技（维权）、精测电子、中科飞测等代表性企业。

我国设备平台型企业发展情况各有不同，北方华创发展较早，已形成规模，是国内唯一成型的平台型设备企业；中微公司和盛美上海处于加速成长阶段，具备一定规模；万业企业虽处于发展初期，但明确朝着“平台型”企业的目标迈进。从企业发展体量来看，自2022年起，设备行业诞生了北方华创和晶盛机电两个百亿设备巨头。

据全球半导体观察综合中国半导体产业协会、企业财报、半导体行业咨询公司等行业各方消息可知，我国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高；在CMP、热处理、薄膜沉积领域，近几年国产化取得明显突破；然而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备领域，仍较为薄弱。

去胶设备领域来看，中国半导体国产化率在2023-2024年显著提升，尤其在成熟制程（28nm及以上，下同）和中低端市场已实现较高替代率。综合行业多方数据显示，在中低端市场，国产化率约75%-90%，主要覆盖成熟制程、功率半导体、先进封装等领域；而在高端市场上，在先进逻辑芯片（14nm以下，下同）和高端存储芯片（3DNAND/DRAM）中，国产化率仍低于30%，这部分主要依赖东京电子、LamResearch等国际厂商。目前，我国在去胶设备领域的代表企业主要有屹唐半导体、浙江宇谦、上海稷以、北方华创、盛美上海等，总体来看国产设备在“去胶+清洗”集成设备中占优。

清洗设备领域，我国国产化率已不断提高至50-60%，代表企业主要有北方华创、盛美上海、至纯科技、芯源微、屹唐半导体等。

在刻蚀设备领域，我国在成熟制程国产化率约为50%-60%，主要应用于逻辑芯片、功率半导体和存储芯片（如3DNAND）；而在先进制程，国产化率不足15%，高端市场被Lam Research、东京电子、应用材料等垄断。在该领域我国主要代表企业有中微公司、北方华创、嘉芯半导体、屹唐半导体等，另外拓荆科技、盛美上海、芯源微虽然没有专门推出转有的刻蚀设备，但其部分领域设备均有涉及刻蚀工艺。

在热处理设备领域，我国国产化率约为30%-40%，主要代表企业有北方华创、晶盛机电、中微公司、拓荆科技、嘉芯半导体等，另外华海清科、拓荆科技、芯源微部分领域设备均有涉及热处理工艺，占据一定市场份额。

PVD设备领域则是北方华创、捷佳伟创、嘉芯半导体、中电科、科睿设备有限公司、中科院沈阳科学仪器、合肥科晶材料、晶盛机电、中微公司、盛美上海、拓荆科技。该领域设备国产化率还处于较低水平，约为15%-20%，其中在先进制程领域，国产化率仅为10%左右，主要依赖进口。

半导体CMP设备领域，我国在成熟制程国产化率约15%-25%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等领域；而在先进制程上国产化率不足10%，高端市场由应用材料、荏原制作所等垄断。我国在该领域上的代表企业主要有盛美上海、华海清科、中国电科、鼎龙控股、烁科精微等。

涂胶显影设备是光刻工艺的核心设备之一，主要用于晶圆的光刻胶涂覆、显影等步骤。在该领域，我国国产化率约为10%-15%（主要集中在封装和成熟制程），前道设备国产化率不足10%。行业消息显示，涂胶显影设备的主要挑战在于设备稳定性、工艺精度（如均匀性控制）、与光刻机的协同适配方面。我国涂胶显影设备主要代表企业则是盛美上海、芯源微、北方华创、中微公司、华峰测控等。

在离子注入设备领域，我国在成熟制程上的国产化率约10%-20%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等非先进逻辑芯片领域；而在先进制程国产化率不足5%，市场由应用材料、Axcelis、日立国际电气主导。目前，国产设备在中高能量（>200keV）和超低能量（<1keV）离子注入领域仍落后，束流均匀性（±3%vs国际±1%）和稳定性待提升。而在晶圆尺寸适配上，12英寸设备成熟度低，8英寸设备逐步替代进口。此外在相关重要配件上如离子源、质量分析器等长期依赖进口。该领域我国主要代表企业为凯世通、中国电科、烁科中信科、北方华创、中微公司等。

半导体量测设备包括晶圆缺陷检测、关键尺寸测量（CD-SEM）、膜厚测量（椭偏仪）、套刻精度测量等，技术门槛极高。该领域整体国产化率约为10%-15%，我国主要在中低端设备和部分细分领域取得突破，其中前道高端设备（如EUV相关检测）国产化率不足5%。目前该领域的主要发展瓶颈在于核心光学部件（如高精度激光器）、算法软件（缺陷分类与数据分析）依赖进口，设备稳定性与海外巨头存在差距。在量测领域我国主要代表企业为上海微电子、中科飞测、精测电子、华海清科、北方华创等。

在半导体光刻设备前道制造（EUV/ArF浸没式）领域，国产化率约为0%-1％。而在成熟制程光刻机（KrF/i-line，90nm及以上），国产化率约10%-15%，主要用于功率半导体、MEMS、分立器件等领域。而在封装光刻机（后道先进封装），在上海微电子主导下，国产化率不断提升。在该领域我国的主要代表企业有上海微电子、中国电科、北方华创等。据悉，上海微电子计划推出支持55nm制程的KrF光刻机，并推进28nm光刻机量产验证。