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开封市(顺河回族区、鼓楼区、禹王台区、兰考县、祥符区、龙亭区、通许县、尉氏县、杞县)

吉林市(丰满区、龙潭区、磐石市、永吉县、桦甸市、舒兰市、船营区、昌邑区、蛟河市)

宜昌市(当阳市、枝江市、西陵区、夷陵区、猇亭区、远安县、点军区、宜都市、伍家岗区、五峰土家族自治县、长阳土家族自治县、兴山县、秭归县)

蚌埠市(蚌山区、怀远县、禹会区、固镇县、淮上区、龙子湖区、五河县)  临夏回族自治州(积石山保安族东乡族撒拉族自治县、广河县、康乐县、和政县、临夏县、东乡族自治县、永靖县、临夏市)

南充市(嘉陵区、顺庆区、高坪区、营山县、阆中市、西充县、南部县、仪陇县、蓬安县)

仙桃市(神农架林区、潜江市、天门市)

钦州市(钦南区、钦北区、灵山县、浦北县)

柳州市(融水苗族自治县、城中区、柳城县、柳北区、鹿寨县、鱼峰区、三江侗族自治县、柳南区、柳江区、融安县)  大庆市(萨尔图区、大同区、让胡路区、红岗区、杜尔伯特蒙古族自治县、肇州县、龙凤区、肇源县、林甸县)

银川市(金凤区、永宁县、西夏区、灵武市、兴庆区、贺兰县)

盘锦市(兴隆台区、大洼区、双台子区、盘山县)

黄南藏族自治州(同仁市、泽库县、尖扎县、河南蒙古族自治县)

博尔塔拉蒙古自治州(阿拉山口市、精河县、温泉县、博乐市)

泰安市(东平县、新泰市、岱岳区、宁阳县、泰山区、肥城市)

西安市(莲湖区、灞桥区、未央区、雁塔区、阎良区、鄠邑区、高陵区、新城区、临潼区、碑林区、蓝田县、长安区、周至县)

潍坊市(寒亭区、坊子区、安丘市、高密市、青州市、潍城区、临朐县、奎文区、昌乐县、诸城市、昌邑市、寿光市)

自贡市(富顺县、自流井区、荣县、沿滩区、贡井区、大安区)

湛江市(遂溪县、坡头区、麻章区、赤坎区、吴川市、廉江市、雷州市、霞山区、徐闻县)

金华市(金东区、磐安县、永康市、兰溪市、武义县、义乌市、东阳市、婺城区、浦江县)

怀化市(辰溪县、芷江侗族自治县、靖州苗族侗族自治县、沅陵县、鹤城区、会同县、中方县、洪江市、通道侗族自治县、新晃侗族自治县、麻阳苗族自治县、溆浦县)

江门市(新会区、台山市、开平市、恩平市、鹤山市、江海区、蓬江区)

宜春市(铜鼓县、樟树市、上高县、袁州区、丰城市、奉新县、宜丰县、万载县、高安市、靖安县)

鸡西市(恒山区、城子河区、梨树区、鸡东县、密山市、滴道区、鸡冠区、虎林市、麻山区)

伊犁哈萨克自治州(昭苏县、霍城县、巩留县、伊宁县、新源县、奎屯市、霍尔果斯市、伊宁市、特克斯县、察布查尔锡伯自治县、尼勒克县)

酒泉市(肃北蒙古族自治县、瓜州县、阿克塞哈萨克族自治县、玉门市、敦煌市、肃州区、金塔县)

商洛市(山阳县、洛南县、柞水县、商南县、镇安县、丹凤县、商州区)

济宁市(兖州区、泗水县、汶上县、梁山县、曲阜市、任城区、金乡县、微山县、嘉祥县、邹城市、鱼台县)

遂宁市(射洪市、大英县、安居区、船山区、蓬溪县)

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昆明市(寻甸回族彝族自治县、富民县、盘龙区、嵩明县、安宁市、宜良县、呈贡区、禄劝彝族苗族自治县、石林彝族自治县、五华区、西山区、东川区、晋宁区、官渡区)

遵义市(余庆县、湄潭县、务川仡佬族苗族自治县、汇川区、正安县、道真仡佬族苗族自治县、习水县、凤冈县、仁怀市、红花岗区、播州区、绥阳县、桐梓县、赤水市)

宿迁市(宿城区、宿豫区、沭阳县、泗洪县、泗阳县)

长治市(潞城区、黎城县、襄垣县、上党区、壶关县、武乡县、平顺县、屯留区、潞州区、沁县、长子县、沁源县)  阳江市(阳西县、阳春市、阳东区、江城区)

抚顺市(抚顺县、新抚区、清原满族自治县、望花区、东洲区、顺城区、新宾满族自治县)

南通市(通州区、如东县、海门区、如皋市、启东市、崇川区、海安市)

雅安市(芦山县、石棉县、名山区、雨城区、宝兴县、汉源县、荥经县、天全县)湘潭市(岳塘区、湘乡市、韶山市、雨湖区、湘潭县)

伊春市(大箐山县、伊美区、铁力市、友好区、南岔县、汤旺县、丰林县、嘉荫县、金林区、乌翠区)  临汾市(侯马市、汾西县、翼城县、古县、襄汾县、蒲县、大宁县、乡宁县、尧都区、安泽县、吉县、永和县、霍州市、曲沃县、洪洞县、隰县、浮山县)

石家庄市(新乐市、辛集市、藁城区、正定县、深泽县、灵寿县、高邑县、赞皇县、无极县、井陉县、鹿泉区、栾城区、桥西区、长安区、晋州市、新华区、井陉矿区、裕华区、元氏县、赵县、行唐县、平山县)

榆林市(米脂县、绥德县、横山区、佳县、神木市、清涧县、子洲县、定边县、榆阳区、吴堡县、府谷县、靖边县)

孝感市(汉川市、安陆市、应城市、孝南区、孝昌县、大悟县、云梦县)赣州市(大余县、崇义县、上犹县、定南县、南康区、兴国县、瑞金市、会昌县、于都县、章贡区、赣县区、寻乌县、宁都县、龙南市、全南县、石城县、信丰县、安远县)

固原市(原州区、西吉县、泾源县、彭阳县、隆德县)

莆田市(荔城区、仙游县、涵江区、城厢区、秀屿区)

德州市(夏津县、庆云县、平原县、陵城区、武城县、乐陵市、禹城市、临邑县、宁津县、德城区、齐河县)

重庆市(永川区、武隆区、石柱土家族自治县、丰都县、巫山县、涪陵区、江北区、綦江区、奉节县、彭水苗族土家族自治县、酉阳土家族苗族自治县、梁平区、垫江县、北碚区、南川区、秀山土家族苗族自治县、南岸区、合川区、江津区、璧山区、渝中区、忠县、万州区、九龙坡区、大足区、黔江区、潼南区、大渡口区、开州区、长寿区、巴南区、巫溪县、铜梁区、云阳县、城口县、沙坪坝区、渝北区、荣昌区)

株洲市(天元区、渌口区、攸县、芦淞区、茶陵县、炎陵县、荷塘区、石峰区、醴陵市)

安阳市(北关区、林州市、滑县、文峰区、内黄县、龙安区、殷都区、安阳县、汤阴县)

三亚市(崖州区、海棠区、吉阳区、天涯区)

运城市(河津市、临猗县、垣曲县、平陆县、闻喜县、万荣县、新绛县、永济市、芮城县、稷山县、盐湖区、夏县、绛县)

包头市(青山区、九原区、土默特右旗、白云鄂博矿区、达尔罕茂明安联合旗、石拐区、固阳县、昆都仑区、东河区)

安顺市(平坝区、普定县、紫云苗族布依族自治县、镇宁布依族苗族自治县、关岭布依族苗族自治县、西秀区)

周口市(淮阳区、沈丘县、项城市、太康县、鹿邑县、商水县、川汇区、扶沟县、西华县、郸城县)

昌都市(察雅县、类乌齐县、贡觉县、江达县、丁青县、洛隆县、卡若区、八宿县、芒康县、左贡县、边坝县)

阳泉市(郊区、平定县、矿区、城区、盂县)

防城港市(港口区、防城区、上思县、东兴市)

天津市(宝坻区、南开区、西青区、武清区、津南区、河西区、河东区、蓟州区、东丽区、宁河区、红桥区、河北区、北辰区、静海区、和平区、滨海新区)

海东市(互助土族自治县、民和回族土族自治县、平安区、乐都区、循化撒拉族自治县、化隆回族自治县)

中国半导体设备产业动态频频，以中微公司和北方华创为代表的国内龙头企业纷纷展现强劲的增长势头和战略布局。中微公司通过大幅增资强化技术研发和市场拓展，巩固其在刻蚀设备领域的领先地位；北方华创则通过对外投资和股权收购，积极拓展业务版图，并在业绩上实现显著增长。

众所周知，中国正在加紧推进半导体的国产化进程，其中设备作为半导体产业的基石，其国产化水平决定着整个半导体产业链的自主可控程度。近期有预测称，到2025年中国大陆半导体设备整体国产化率有望达到50%，该消息引起了行业一众关注。究竟真实进展如何？

中微公司增资至40亿，增幅300%

4月21日，企查查显示，中微半导体（上海）有限公司宣布注册资本由10亿元人民币增至40亿元人民币，增幅达300%。通过增资，中微公司将进一步增强资金实力，加速技术研发和市场拓展，提升在全球半导体设备市场的竞争力。

中微公司2024年财报显示，公司实现营业收入90.65亿元，同比增长44.7%，其中刻蚀设备贡献超72亿元，同比增长54.7%，稳居国产刻蚀设备龙头。尽管净利润约16.16亿元，同比下滑9.5%，但扣非净利润约13.88亿元，同比增长16.5%。这一下滑主要受研发投入激增影响，2024年研发费用达24.5亿元，同比增长94.3%。公司创始人尹志尧表示，2024年人均销售超过400万元，达到设备产业国际先进水平。

从出货设备来看，刻蚀领域，该公司的CCP刻蚀设备2024年生产付运超过1200反应台，创历史新高，累计装机量超过4000反应台；薄膜沉积设备领域，LPCVD设备累计出货量已突破150个反应台，2024年获得约4.76亿元批量订单，ALD（原子层沉积）设备和其他关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进，EPI（外延）设备已顺利进入客户端量产验证阶段。

量测设备领域，中微公司控股子公司超微半导体设备（上海）有限公司拟增资至1.6亿元，中微公司持股比例将降至47.2%，但仍保持控制权。据悉，超微公司重点开发电子束量检测设备，该设备是芯片制造和先进封装工艺中的关键设备，对我国发展新质生产力至关重要。

今年1月，中微公司计划在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备（成都）有限公司，建设研发及生产基地暨西南总部项目。项目总投资约30.5亿元，主要用于研发薄膜设备。该公司将作为中微公司的西南总部，建设包括研发中心、生产基地和配套设施，预计2025年开工，2027年投入生产。

北方华创：拟向全资子公司增资4亿元，并参与北京电控增资

4月18日，北方华创公告，公司拟以全资子公司北方华创创新投资(北京)有限公司作为出资平台，与北京电子控股有限责任公司（以下简称“北京电控”）各出资4亿元人民币，以非公开协议方式向北京电控控股子公司北京电控产业投资有限公司增资。

据悉，电控产投将主要通过基金和股权投资方式，围绕集成电路、人工智能、物联网等应用领域，投资布局发展潜力大、技术或产品好的标的企业。此次增资总额为8亿元，其中北方华创出资4亿元，北京电控出资4亿元。增资完成后，电控产投注册资本将增至18.57亿元，北方华创持股比例为17.6847%。

资料显示，电控产投成立于2008年10月30日，注册资本12亿元，股权结构上，北京电控持有50%的股权、京东方持有33.3%股权、电子城持有16.7%股权。

值得注意的是，当前北方华创持续扩大业务布局。今年3月31日，北方华创公告，受让沈阳中科天盛自动化技术有限公司（下称“中科天盛”）持有的芯源微股份1690万股，占芯源微总股本的8.41%。更早前的3月10日，北方华创与沈阳先进制造技术产业有限公司（下称“先进制造”）签署了股份转让协议，北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份，合计1906.49万股，交易金额为16.87亿元。

受益于半导体行业回暖，北方华创业绩亮眼。2024年，北方华创实现营业收入298.38亿元，同比增长35.14%；归属于上市公司股东的净利润为56.21亿元，同比增长44.17%。该公司还发布了2025年一季度业绩预告显示，预计实现营收73.4亿元至89.8亿元，同比增长23.35%-50.91%；预计实现归母净利润14.2亿元至17.4亿元，同比增长24.69%-52.79%。

北方华创表示，2024年公司深耕半导体基础产品领域，经营业绩稳定增长。公司集成电路装备领域多款新产品取得突破，工艺覆盖度及市场占有率显著增长，产品销量同比大幅度增加。今年一季度，公司集成电路装备领域电容耦合等离子体刻蚀设备（CCP）、原子层沉积设备（ALD）、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破，工艺覆盖度显著增长，同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。凭借优良的产品、技术和服务优势，公司市场份额持续扩大，营业收入同比提升。

中国半导体设备国产化进程飙升

据SEMI数据，中国作为全球最大的半导体消费市场，强劲的市场需求为半导体设备产业的发展提供了强大动力。近年来，国内半导体设备企业在技术突破和国产替代方面持续发力并取得显著进展。以北方华创、中微公司、盛美上海等为代表的设备公司，在技术研发和市场拓展上成果斐然，逐步成为市场竞争中的重要力量。截至2024年，中国半导体设备国产化率提升至13.6%，在刻蚀、清洗、去胶和CMP设备市场，国产化率已突破双位数。尽管光刻设备与国际先进水平仍存在差距，但也取得了部分突破。

全球前五大半导体设备厂商均专注于前道设备应用，分别是应用材料、ASML、东京电子、Lam Research和科磊（KLA）。其中，应用材料、东京电子、泛林半导体是平台型企业，业务横跨刻蚀、薄膜、清洗、离子注入等多个领域，而ASML和KLA属于细分领域龙头。从行业发展趋势来看，向平台型企业发展是进入全球设备第一梯队的关键路径。

由上表可知，在中国大陆，我国目前在发展平台型设备厂商方面卓有成效的主要有北方华创、中微公司、盛美上海和万业企业，而在各细分领域也出现了诸如拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技（维权）、精测电子、中科飞测等代表性企业。

我国设备平台型企业发展情况各有不同，北方华创发展较早，已形成规模，是国内唯一成型的平台型设备企业；中微公司和盛美上海处于加速成长阶段，具备一定规模；万业企业虽处于发展初期，但明确朝着“平台型”企业的目标迈进。从企业发展体量来看，自2022年起，设备行业诞生了北方华创和晶盛机电两个百亿设备巨头。

据全球半导体观察综合中国半导体产业协会、企业财报、半导体行业咨询公司等行业各方消息可知，我国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高；在CMP、热处理、薄膜沉积领域，近几年国产化取得明显突破；然而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备领域，仍较为薄弱。

去胶设备领域来看，中国半导体国产化率在2023-2024年显著提升，尤其在成熟制程（28nm及以上，下同）和中低端市场已实现较高替代率。综合行业多方数据显示，在中低端市场，国产化率约75%-90%，主要覆盖成熟制程、功率半导体、先进封装等领域；而在高端市场上，在先进逻辑芯片（14nm以下，下同）和高端存储芯片（3DNAND/DRAM）中，国产化率仍低于30%，这部分主要依赖东京电子、LamResearch等国际厂商。目前，我国在去胶设备领域的代表企业主要有屹唐半导体、浙江宇谦、上海稷以、北方华创、盛美上海等，总体来看国产设备在“去胶+清洗”集成设备中占优。

清洗设备领域，我国国产化率已不断提高至50-60%，代表企业主要有北方华创、盛美上海、至纯科技、芯源微、屹唐半导体等。

在刻蚀设备领域，我国在成熟制程国产化率约为50%-60%，主要应用于逻辑芯片、功率半导体和存储芯片（如3DNAND）；而在先进制程，国产化率不足15%，高端市场被Lam Research、东京电子、应用材料等垄断。在该领域我国主要代表企业有中微公司、北方华创、嘉芯半导体、屹唐半导体等，另外拓荆科技、盛美上海、芯源微虽然没有专门推出转有的刻蚀设备，但其部分领域设备均有涉及刻蚀工艺。

在热处理设备领域，我国国产化率约为30%-40%，主要代表企业有北方华创、晶盛机电、中微公司、拓荆科技、嘉芯半导体等，另外华海清科、拓荆科技、芯源微部分领域设备均有涉及热处理工艺，占据一定市场份额。

PVD设备领域则是北方华创、捷佳伟创、嘉芯半导体、中电科、科睿设备有限公司、中科院沈阳科学仪器、合肥科晶材料、晶盛机电、中微公司、盛美上海、拓荆科技。该领域设备国产化率还处于较低水平，约为15%-20%，其中在先进制程领域，国产化率仅为10%左右，主要依赖进口。

半导体CMP设备领域，我国在成熟制程国产化率约15%-25%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等领域；而在先进制程上国产化率不足10%，高端市场由应用材料、荏原制作所等垄断。我国在该领域上的代表企业主要有盛美上海、华海清科、中国电科、鼎龙控股、烁科精微等。

涂胶显影设备是光刻工艺的核心设备之一，主要用于晶圆的光刻胶涂覆、显影等步骤。在该领域，我国国产化率约为10%-15%（主要集中在封装和成熟制程），前道设备国产化率不足10%。行业消息显示，涂胶显影设备的主要挑战在于设备稳定性、工艺精度（如均匀性控制）、与光刻机的协同适配方面。我国涂胶显影设备主要代表企业则是盛美上海、芯源微、北方华创、中微公司、华峰测控等。

在离子注入设备领域，我国在成熟制程上的国产化率约10%-20%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等非先进逻辑芯片领域；而在先进制程国产化率不足5%，市场由应用材料、Axcelis、日立国际电气主导。目前，国产设备在中高能量（>200keV）和超低能量（<1keV）离子注入领域仍落后，束流均匀性（±3%vs国际±1%）和稳定性待提升。而在晶圆尺寸适配上，12英寸设备成熟度低，8英寸设备逐步替代进口。此外在相关重要配件上如离子源、质量分析器等长期依赖进口。该领域我国主要代表企业为凯世通、中国电科、烁科中信科、北方华创、中微公司等。

半导体量测设备包括晶圆缺陷检测、关键尺寸测量（CD-SEM）、膜厚测量（椭偏仪）、套刻精度测量等，技术门槛极高。该领域整体国产化率约为10%-15%，我国主要在中低端设备和部分细分领域取得突破，其中前道高端设备（如EUV相关检测）国产化率不足5%。目前该领域的主要发展瓶颈在于核心光学部件（如高精度激光器）、算法软件（缺陷分类与数据分析）依赖进口，设备稳定性与海外巨头存在差距。在量测领域我国主要代表企业为上海微电子、中科飞测、精测电子、华海清科、北方华创等。

在半导体光刻设备前道制造（EUV/ArF浸没式）领域，国产化率约为0%-1％。而在成熟制程光刻机（KrF/i-line，90nm及以上），国产化率约10%-15%，主要用于功率半导体、MEMS、分立器件等领域。而在封装光刻机（后道先进封装），在上海微电子主导下，国产化率不断提升。在该领域我国的主要代表企业有上海微电子、中国电科、北方华创等。据悉，上海微电子计划推出支持55nm制程的KrF光刻机，并推进28nm光刻机量产验证。