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维修过程客户直播参与:对于部分维修项目,我们提供客户直播参与功能,让客户可以实时观看维修过程。
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潍坊市(诸城市、寿光市、昌邑市、坊子区、寒亭区、青州市、安丘市、高密市、潍城区、昌乐县、临朐县、奎文区)
泰安市(泰山区、肥城市、新泰市、宁阳县、东平县、岱岳区)
六安市(霍山县、舒城县、金安区、金寨县、裕安区、霍邱县、叶集区)
白银市(平川区、靖远县、会宁县、白银区、景泰县)
朝阳市(北票市、双塔区、建平县、朝阳县、喀喇沁左翼蒙古族自治县、凌源市、龙城区)
宁波市(余姚市、海曙区、慈溪市、宁海县、江北区、镇海区、鄞州区、奉化区、象山县、北仑区)
肇庆市(广宁县、鼎湖区、端州区、高要区、封开县、怀集县、四会市、德庆县)
阿坝藏族羌族自治州(汶川县、小金县、壤塘县、黑水县、茂县、松潘县、若尔盖县、理县、金川县、九寨沟县、阿坝县、马尔康市、红原县)
泉州市(鲤城区、石狮市、德化县、丰泽区、南安市、洛江区、金门县、泉港区、安溪县、惠安县、永春县、晋江市)
延安市(宜川县、延川县、黄陵县、志丹县、洛川县、吴起县、安塞区、子长市、宝塔区、黄龙县、延长县、富县、甘泉县)
西藏自治区
巴中市(南江县、巴州区、平昌县、恩阳区、通江县)
柳州市(融水苗族自治县、融安县、柳江区、城中区、鱼峰区、三江侗族自治县、鹿寨县、柳城县、柳北区、柳南区)
长治市(长子县、黎城县、壶关县、武乡县、沁源县、上党区、潞城区、襄垣县、潞州区、屯留区、沁县、平顺县)
乌海市(海南区、海勃湾区、乌达区)
潮州市(潮安区、饶平县、湘桥区)
本溪市(南芬区、明山区、平山区、桓仁满族自治县、溪湖区、本溪满族自治县)
扬州市(仪征市、高邮市、江都区、宝应县、邗江区、广陵区)
嘉峪关市
鹰潭市(贵溪市、余江区、月湖区)
淮安市(清江浦区、金湖县、洪泽区、淮安区、涟水县、盱眙县、淮阴区)
武威市(凉州区、民勤县、古浪县、天祝藏族自治县)
安庆市(迎江区、大观区、宿松县、桐城市、宜秀区、岳西县、潜山市、望江县、太湖县、怀宁县)
连云港市(海州区、东海县、连云区、赣榆区、灌南县、灌云县)
南昌市(红谷滩区、新建区、青云谱区、东湖区、安义县、青山湖区、南昌县、西湖区、进贤县)
吕梁市(离石区、交口县、方山县、汾阳市、柳林县、岚县、孝义市、交城县、临县、中阳县、文水县、兴县、石楼县)
中山市
伊犁哈萨克自治州(昭苏县、巩留县、霍尔果斯市、尼勒克县、霍城县、察布查尔锡伯自治县、奎屯市、伊宁市、伊宁县、特克斯县、新源县)
博尔塔拉蒙古自治州(阿拉山口市、精河县、博乐市、温泉县)
徐州市(泉山区、沛县、丰县、鼓楼区、云龙区、睢宁县、新沂市、邳州市、贾汪区、铜山区)
烟台市(招远市、栖霞市、莱州市、莱山区、海阳市、莱阳市、芝罘区、牟平区、蓬莱区、龙口市、福山区)
牡丹江市(西安区、爱民区、穆棱市、林口县、东安区、东宁市、阳明区、海林市、绥芬河市、宁安市)
丽江市(永胜县、宁蒗彝族自治县、华坪县、古城区、玉龙纳西族自治县)
广西壮族自治区
青岛市(市北区、莱西市、市南区、崂山区、黄岛区、城阳区、即墨区、平度市、胶州市、李沧区)
九江市(湖口县、德安县、都昌县、修水县、彭泽县、柴桑区、共青城市、浔阳区、庐山市、濂溪区、瑞昌市、武宁县、永修县)
永州市(冷水滩区、江华瑶族自治县、道县、零陵区、宁远县、江永县、双牌县、东安县、新田县、蓝山县、祁阳市)
渭南市(韩城市、富平县、临渭区、澄城县、合阳县、蒲城县、白水县、大荔县、潼关县、华阴市、华州区)
常州市(金坛区、溧阳市、天宁区、武进区、钟楼区、新北区)
乌鲁木齐市(头屯河区、新市区、乌鲁木齐县、达坂城区、水磨沟区、沙依巴克区、天山区、米东区)
普洱市(孟连傣族拉祜族佤族自治县、宁洱哈尼族彝族自治县、景谷傣族彝族自治县、江城哈尼族彝族自治县、西盟佤族自治县、景东彝族自治县、澜沧拉祜族自治县、思茅区、镇沅彝族哈尼族拉祜族自治县、墨江哈尼族自治县)
德州市(夏津县、乐陵市、陵城区、武城县、庆云县、齐河县、临邑县、禹城市、宁津县、平原县、德城区)
赣州市(兴国县、赣县区、上犹县、定南县、章贡区、安远县、石城县、信丰县、瑞金市、宁都县、龙南市、崇义县、南康区、会昌县、于都县、寻乌县、大余县、全南县)
孝感市(孝昌县、汉川市、安陆市、应城市、云梦县、孝南区、大悟县)
邵阳市(洞口县、邵东市、新邵县、城步苗族自治县、绥宁县、武冈市、隆回县、双清区、新宁县、北塔区、邵阳县、大祥区)
鄂尔多斯市(准格尔旗、杭锦旗、伊金霍洛旗、乌审旗、康巴什区、东胜区、鄂托克前旗、鄂托克旗、达拉特旗)
吉安市(永丰县、遂川县、新干县、吉州区、安福县、峡江县、吉安县、井冈山市、青原区、永新县、万安县、泰和县、吉水县)
贵阳市(云岩区、南明区、息烽县、修文县、开阳县、乌当区、清镇市、花溪区、观山湖区、白云区)
西安市(高陵区、未央区、碑林区、莲湖区、临潼区、灞桥区、鄠邑区、周至县、新城区、阎良区、长安区、蓝田县、雁塔区)
哈密市(伊吾县、巴里坤哈萨克自治县、伊州区)
滨州市(邹平市、博兴县、滨城区、阳信县、沾化区、无棣县、惠民县)
乐山市(金口河区、市中区、沐川县、夹江县、犍为县、马边彝族自治县、井研县、峨眉山市、沙湾区、峨边彝族自治县、五通桥区)
龙岩市(新罗区、永定区、漳平市、长汀县、连城县、上杭县、武平县)
上饶市(婺源县、横峰县、铅山县、玉山县、鄱阳县、余干县、广丰区、德兴市、广信区、万年县、弋阳县、信州区)
湘潭市(岳塘区、湘乡市、韶山市、雨湖区、湘潭县)
崇左市(宁明县、扶绥县、龙州县、江州区、大新县、天等县、凭祥市)
鞍山市(海城市、铁西区、立山区、岫岩满族自治县、铁东区、台安县、千山区)
宜昌市(伍家岗区、西陵区、枝江市、远安县、点军区、猇亭区、兴山县、夷陵区、长阳土家族自治县、五峰土家族自治县、当阳市、秭归县、宜都市)
汕头市(澄海区、濠江区、龙湖区、南澳县、潮南区、金平区、潮阳区)
玉溪市(江川区、通海县、易门县、华宁县、新平彝族傣族自治县、红塔区、澄江市、峨山彝族自治县、元江哈尼族彝族傣族自治县)
安阳市(安阳县、内黄县、北关区、林州市、滑县、文峰区、龙安区、殷都区、汤阴县)
济宁市(汶上县、金乡县、邹城市、兖州区、梁山县、任城区、曲阜市、鱼台县、嘉祥县、微山县、泗水县)
达州市(万源市、宣汉县、渠县、通川区、大竹县、达川区、开江县)
菏泽市(单县、东明县、郓城县、鄄城县、定陶区、成武县、牡丹区、曹县、巨野县)
白城市(镇赉县、洮北区、通榆县、洮南市、大安市)
迪庆藏族自治州(德钦县、维西傈僳族自治县、香格里拉市)
安顺市(镇宁布依族苗族自治县、西秀区、普定县、紫云苗族布依族自治县、关岭布依族苗族自治县、平坝区)
黔西南布依族苗族自治州(册亨县、普安县、兴义市、贞丰县、安龙县、望谟县、晴隆县、兴仁市)
兴安盟(乌兰浩特市、突泉县、科尔沁右翼前旗、阿尔山市、科尔沁右翼中旗、扎赉特旗)
湘西土家族苗族自治州(吉首市、泸溪县、龙山县、永顺县、保靖县、凤凰县、古丈县、花垣县)
朔州市(朔城区、右玉县、山阴县、怀仁市、平鲁区、应县)
荆门市(钟祥市、沙洋县、掇刀区、京山市、东宝区)
晋中市(祁县、介休市、榆社县、昔阳县、榆次区、寿阳县、和顺县、太谷区、左权县、灵石县、平遥县)
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丽水市(松阳县、缙云县、景宁畲族自治县、龙泉市、云和县、遂昌县、庆元县、莲都区、青田县)
榆林市(佳县、吴堡县、清涧县、榆阳区、神木市、府谷县、靖边县、横山区、定边县、米脂县、子洲县、绥德县)
唐山市(古冶区、乐亭县、丰南区、开平区、迁西县、迁安市、路北区、遵化市、丰润区、滦州市、曹妃甸区、滦南县、玉田县、路南区)
中国半导体设备产业动态频频,以中微公司和北方华创为代表的国内龙头企业纷纷展现强劲的增长势头和战略布局。中微公司通过大幅增资强化技术研发和市场拓展,巩固其在刻蚀设备领域的领先地位;北方华创则通过对外投资和股权收购,积极拓展业务版图,并在业绩上实现显著增长。
众所周知,中国正在加紧推进半导体的国产化进程,其中设备作为半导体产业的基石,其国产化水平决定着整个半导体产业链的自主可控程度。近期有预测称,到2025年中国大陆半导体设备整体国产化率有望达到50%,该消息引起了行业一众关注。究竟真实进展如何?
中微公司增资至40亿,增幅300%
4月21日,企查查显示,中微半导体(上海)有限公司宣布注册资本由10亿元人民币增至40亿元人民币,增幅达300%。通过增资,中微公司将进一步增强资金实力,加速技术研发和市场拓展,提升在全球半导体设备市场的竞争力。
中微公司2024年财报显示,公司实现营业收入90.65亿元,同比增长44.7%,其中刻蚀设备贡献超72亿元,同比增长54.7%,稳居国产刻蚀设备龙头。尽管净利润约16.16亿元,同比下滑9.5%,但扣非净利润约13.88亿元,同比增长16.5%。这一下滑主要受研发投入激增影响,2024年研发费用达24.5亿元,同比增长94.3%。公司创始人尹志尧表示,2024年人均销售超过400万元,达到设备产业国际先进水平。
从出货设备来看,刻蚀领域,该公司的CCP刻蚀设备2024年生产付运超过1200反应台,创历史新高,累计装机量超过4000反应台;薄膜沉积设备领域,LPCVD设备累计出货量已突破150个反应台,2024年获得约4.76亿元批量订单,ALD(原子层沉积)设备和其他关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进,EPI(外延)设备已顺利进入客户端量产验证阶段。
量测设备领域,中微公司控股子公司超微半导体设备(上海)有限公司拟增资至1.6亿元,中微公司持股比例将降至47.2%,但仍保持控制权。据悉,超微公司重点开发电子束量检测设备,该设备是芯片制造和先进封装工艺中的关键设备,对我国发展新质生产力至关重要。
今年1月,中微公司计划在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备(成都)有限公司,建设研发及生产基地暨西南总部项目。项目总投资约30.5亿元,主要用于研发薄膜设备。该公司将作为中微公司的西南总部,建设包括研发中心、生产基地和配套设施,预计2025年开工,2027年投入生产。
北方华创:拟向全资子公司增资4亿元,并参与北京电控增资
4月18日,北方华创公告,公司拟以全资子公司北方华创创新投资(北京)有限公司作为出资平台,与北京电子控股有限责任公司(以下简称“北京电控”)各出资4亿元人民币,以非公开协议方式向北京电控控股子公司北京电控产业投资有限公司增资。
据悉,电控产投将主要通过基金和股权投资方式,围绕集成电路、人工智能、物联网等应用领域,投资布局发展潜力大、技术或产品好的标的企业。此次增资总额为8亿元,其中北方华创出资4亿元,北京电控出资4亿元。增资完成后,电控产投注册资本将增至18.57亿元,北方华创持股比例为17.6847%。
资料显示,电控产投成立于2008年10月30日,注册资本12亿元,股权结构上,北京电控持有50%的股权、京东方持有33.3%股权、电子城持有16.7%股权。
值得注意的是,当前北方华创持续扩大业务布局。今年3月31日,北方华创公告,受让沈阳中科天盛自动化技术有限公司(下称“中科天盛”)持有的芯源微股份1690万股,占芯源微总股本的8.41%。更早前的3月10日,北方华创与沈阳先进制造技术产业有限公司(下称“先进制造”)签署了股份转让协议,北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份,合计1906.49万股,交易金额为16.87亿元。
受益于半导体行业回暖,北方华创业绩亮眼。2024年,北方华创实现营业收入298.38亿元,同比增长35.14%;归属于上市公司股东的净利润为56.21亿元,同比增长44.17%。该公司还发布了2025年一季度业绩预告显示,预计实现营收73.4亿元至89.8亿元,同比增长23.35%-50.91%;预计实现归母净利润14.2亿元至17.4亿元,同比增长24.69%-52.79%。
北方华创表示,2024年公司深耕半导体基础产品领域,经营业绩稳定增长。公司集成电路装备领域多款新产品取得突破,工艺覆盖度及市场占有率显著增长,产品销量同比大幅度增加。今年一季度,公司集成电路装备领域电容耦合等离子体刻蚀设备(CCP)、原子层沉积设备(ALD)、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破,工艺覆盖度显著增长,同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。凭借优良的产品、技术和服务优势,公司市场份额持续扩大,营业收入同比提升。
中国半导体设备国产化进程飙升
据SEMI数据,中国作为全球最大的半导体消费市场,强劲的市场需求为半导体设备产业的发展提供了强大动力。近年来,国内半导体设备企业在技术突破和国产替代方面持续发力并取得显著进展。以北方华创、中微公司、盛美上海等为代表的设备公司,在技术研发和市场拓展上成果斐然,逐步成为市场竞争中的重要力量。截至2024年,中国半导体设备国产化率提升至13.6%,在刻蚀、清洗、去胶和CMP设备市场,国产化率已突破双位数。尽管光刻设备与国际先进水平仍存在差距,但也取得了部分突破。
全球前五大半导体设备厂商均专注于前道设备应用,分别是应用材料、ASML、东京电子、Lam Research和科磊(KLA)。其中,应用材料、东京电子、泛林半导体是平台型企业,业务横跨刻蚀、薄膜、清洗、离子注入等多个领域,而ASML和KLA属于细分领域龙头。从行业发展趋势来看,向平台型企业发展是进入全球设备第一梯队的关键路径。
由上表可知,在中国大陆,我国目前在发展平台型设备厂商方面卓有成效的主要有北方华创、中微公司、盛美上海和万业企业,而在各细分领域也出现了诸如拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技(维权)、精测电子、中科飞测等代表性企业。
我国设备平台型企业发展情况各有不同,北方华创发展较早,已形成规模,是国内唯一成型的平台型设备企业;中微公司和盛美上海处于加速成长阶段,具备一定规模;万业企业虽处于发展初期,但明确朝着“平台型”企业的目标迈进。从企业发展体量来看,自2022年起,设备行业诞生了北方华创和晶盛机电两个百亿设备巨头。
据全球半导体观察综合中国半导体产业协会、企业财报、半导体行业咨询公司等行业各方消息可知,我国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高;在CMP、热处理、薄膜沉积领域,近几年国产化取得明显突破;然而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备领域,仍较为薄弱。
去胶设备领域来看,中国半导体国产化率在2023-2024年显著提升,尤其在成熟制程(28nm及以上,下同)和中低端市场已实现较高替代率。综合行业多方数据显示,在中低端市场,国产化率约75%-90%,主要覆盖成熟制程、功率半导体、先进封装等领域;而在高端市场上,在先进逻辑芯片(14nm以下,下同)和高端存储芯片(3DNAND/DRAM)中,国产化率仍低于30%,这部分主要依赖东京电子、LamResearch等国际厂商。目前,我国在去胶设备领域的代表企业主要有屹唐半导体、浙江宇谦、上海稷以、北方华创、盛美上海等,总体来看国产设备在“去胶+清洗”集成设备中占优。
清洗设备领域,我国国产化率已不断提高至50-60%,代表企业主要有北方华创、盛美上海、至纯科技、芯源微、屹唐半导体等。
在刻蚀设备领域,我国在成熟制程国产化率约为50%-60%,主要应用于逻辑芯片、功率半导体和存储芯片(如3DNAND);而在先进制程,国产化率不足15%,高端市场被Lam Research、东京电子、应用材料等垄断。在该领域我国主要代表企业有中微公司、北方华创、嘉芯半导体、屹唐半导体等,另外拓荆科技、盛美上海、芯源微虽然没有专门推出转有的刻蚀设备,但其部分领域设备均有涉及刻蚀工艺。
在热处理设备领域,我国国产化率约为30%-40%,主要代表企业有北方华创、晶盛机电、中微公司、拓荆科技、嘉芯半导体等,另外华海清科、拓荆科技、芯源微部分领域设备均有涉及热处理工艺,占据一定市场份额。
PVD设备领域则是北方华创、捷佳伟创、嘉芯半导体、中电科、科睿设备有限公司、中科院沈阳科学仪器、合肥科晶材料、晶盛机电、中微公司、盛美上海、拓荆科技。该领域设备国产化率还处于较低水平,约为15%-20%,其中在先进制程领域,国产化率仅为10%左右,主要依赖进口。
半导体CMP设备领域,我国在成熟制程国产化率约15%-25%,主要应用于功率半导体、MEMS传感器等领域;而在先进制程上国产化率不足10%,高端市场由应用材料、荏原制作所等垄断。我国在该领域上的代表企业主要有盛美上海、华海清科、中国电科、鼎龙控股、烁科精微等。
涂胶显影设备是光刻工艺的核心设备之一,主要用于晶圆的光刻胶涂覆、显影等步骤。在该领域,我国国产化率约为10%-15%(主要集中在封装和成熟制程),前道设备国产化率不足10%。行业消息显示,涂胶显影设备的主要挑战在于设备稳定性、工艺精度(如均匀性控制)、与光刻机的协同适配方面。我国涂胶显影设备主要代表企业则是盛美上海、芯源微、北方华创、中微公司、华峰测控等。
在离子注入设备领域,我国在成熟制程上的国产化率约10%-20%,主要应用于功率半导体、MEMS传感器等非先进逻辑芯片领域;而在先进制程国产化率不足5%,市场由应用材料、Axcelis、日立国际电气主导。目前,国产设备在中高能量(>200keV)和超低能量(<1keV)离子注入领域仍落后,束流均匀性(±3%vs国际±1%)和稳定性待提升。而在晶圆尺寸适配上,12英寸设备成熟度低,8英寸设备逐步替代进口。此外在相关重要配件上如离子源、质量分析器等长期依赖进口。该领域我国主要代表企业为凯世通、中国电科、烁科中信科、北方华创、中微公司等。
半导体量测设备包括晶圆缺陷检测、关键尺寸测量(CD-SEM)、膜厚测量(椭偏仪)、套刻精度测量等,技术门槛极高。该领域整体国产化率约为10%-15%,我国主要在中低端设备和部分细分领域取得突破,其中前道高端设备(如EUV相关检测)国产化率不足5%。目前该领域的主要发展瓶颈在于核心光学部件(如高精度激光器)、算法软件(缺陷分类与数据分析)依赖进口,设备稳定性与海外巨头存在差距。在量测领域我国主要代表企业为上海微电子、中科飞测、精测电子、华海清科、北方华创等。
在半导体光刻设备前道制造(EUV/ArF浸没式)领域,国产化率约为0%-1%。而在成熟制程光刻机(KrF/i-line,90nm及以上),国产化率约10%-15%,主要用于功率半导体、MEMS、分立器件等领域。而在封装光刻机(后道先进封装),在上海微电子主导下,国产化率不断提升。在该领域我国的主要代表企业有上海微电子、中国电科、北方华创等。据悉,上海微电子计划推出支持55nm制程的KrF光刻机,并推进28nm光刻机量产验证。
新闻结尾
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