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孝感市(孝南区、孝昌县、安陆市、应城市、云梦县、大悟县、汉川市)
安康市(石泉县、平利县、宁陕县、汉滨区、岚皋县、汉阴县、紫阳县、白河县、旬阳市、镇坪县)
通辽市(霍林郭勒市、扎鲁特旗、科尔沁左翼后旗、科尔沁左翼中旗、库伦旗、奈曼旗、开鲁县、科尔沁区)
常州市(新北区、金坛区、钟楼区、天宁区、武进区、溧阳市)
来宾市(合山市、金秀瑶族自治县、兴宾区、象州县、忻城县、武宣县)
长春市(德惠市、农安县、南关区、绿园区、朝阳区、宽城区、公主岭市、双阳区、二道区、榆树市、九台区)
池州市(贵池区、东至县、石台县、青阳县)
乐山市(金口河区、沙湾区、市中区、井研县、峨边彝族自治县、五通桥区、夹江县、峨眉山市、沐川县、犍为县、马边彝族自治县)
广安市(前锋区、广安区、岳池县、华蓥市、邻水县、武胜县)
固原市(原州区、隆德县、彭阳县、泾源县、西吉县)
上海市(奉贤区、黄浦区、杨浦区、静安区、崇明区、金山区、青浦区、徐汇区、浦东新区、普陀区、闵行区、虹口区、松江区、宝山区、嘉定区、长宁区)
大连市(长海县、中山区、庄河市、金州区、旅顺口区、瓦房店市、普兰店区、甘井子区、西岗区、沙河口区)
乌海市(乌达区、海南区、海勃湾区)
徐州市(邳州市、新沂市、云龙区、铜山区、沛县、睢宁县、丰县、泉山区、鼓楼区、贾汪区)
赣州市(大余县、南康区、于都县、宁都县、定南县、龙南市、会昌县、安远县、赣县区、上犹县、兴国县、全南县、崇义县、章贡区、石城县、信丰县、寻乌县、瑞金市)
黔东南苗族侗族自治州(麻江县、黄平县、施秉县、黎平县、镇远县、剑河县、丹寨县、岑巩县、榕江县、三穗县、从江县、凯里市、台江县、天柱县、雷山县、锦屏县)
三明市(泰宁县、三元区、尤溪县、清流县、将乐县、明溪县、大田县、永安市、建宁县、宁化县、沙县区)
石家庄市(裕华区、桥西区、高邑县、井陉矿区、栾城区、赞皇县、井陉县、灵寿县、元氏县、深泽县、赵县、鹿泉区、平山县、行唐县、长安区、新乐市、新华区、无极县、藁城区、正定县、辛集市、晋州市)
衡阳市(衡阳县、珠晖区、衡南县、祁东县、石鼓区、蒸湘区、衡东县、常宁市、南岳区、雁峰区、耒阳市、衡山县)
澳门特别行政区
仙桃市(天门市、神农架林区、潜江市)
大理白族自治州(漾濞彝族自治县、弥渡县、永平县、宾川县、剑川县、巍山彝族回族自治县、洱源县、大理市、鹤庆县、南涧彝族自治县、祥云县、云龙县)
龙岩市(新罗区、长汀县、永定区、漳平市、连城县、武平县、上杭县)
九江市(武宁县、濂溪区、浔阳区、永修县、湖口县、都昌县、瑞昌市、彭泽县、德安县、柴桑区、修水县、共青城市、庐山市)
辽阳市(太子河区、弓长岭区、灯塔市、辽阳县、宏伟区、文圣区、白塔区)
三沙市(南沙区、西沙区)
朝阳市(朝阳县、北票市、凌源市、双塔区、建平县、喀喇沁左翼蒙古族自治县、龙城区)
廊坊市(文安县、安次区、固安县、霸州市、三河市、永清县、广阳区、大城县、香河县、大厂回族自治县)
石河子市(昆玉市、阿拉尔市、新星市、白杨市、铁门关市、胡杨河市、可克达拉市、双河市、图木舒克市、五家渠市、北屯市)
香港特别行政区
南通市(如皋市、如东县、通州区、海门区、崇川区、海安市、启东市)
宣城市(泾县、旌德县、宣州区、绩溪县、广德市、郎溪县、宁国市)
黄山市(休宁县、屯溪区、祁门县、徽州区、黟县、黄山区、歙县)
菏泽市(牡丹区、曹县、巨野县、单县、郓城县、成武县、定陶区、东明县、鄄城县)
镇江市(丹阳市、扬中市、丹徒区、京口区、润州区、句容市)
上饶市(余干县、万年县、广丰区、婺源县、鄱阳县、德兴市、铅山县、广信区、弋阳县、玉山县、信州区、横峰县)
大同市(灵丘县、阳高县、云冈区、云州区、左云县、广灵县、天镇县、浑源县、平城区、新荣区)
黔西南布依族苗族自治州(贞丰县、兴仁市、安龙县、兴义市、望谟县、晴隆县、册亨县、普安县)
肇庆市(四会市、端州区、高要区、怀集县、德庆县、鼎湖区、广宁县、封开县)
鸡西市(密山市、麻山区、鸡冠区、滴道区、梨树区、鸡东县、恒山区、城子河区、虎林市)
玉树藏族自治州(称多县、囊谦县、杂多县、玉树市、治多县、曲麻莱县)
宁德市(寿宁县、屏南县、霞浦县、福鼎市、柘荣县、古田县、福安市、蕉城区、周宁县)
烟台市(龙口市、牟平区、莱阳市、栖霞市、福山区、莱州市、海阳市、芝罘区、蓬莱区、招远市、莱山区)
襄阳市(保康县、襄城区、南漳县、谷城县、襄州区、老河口市、宜城市、樊城区、枣阳市)
抚顺市(顺城区、望花区、新宾满族自治县、清原满族自治县、抚顺县、东洲区、新抚区)
六盘水市(水城区、盘州市、六枝特区、钟山区)
平凉市(泾川县、崇信县、崆峒区、华亭市、庄浪县、灵台县、静宁县)
天水市(秦州区、麦积区、秦安县、甘谷县、张家川回族自治县、武山县、清水县)
清远市(连南瑶族自治县、清城区、连州市、清新区、英德市、阳山县、佛冈县、连山壮族瑶族自治县)
梅州市(丰顺县、梅江区、梅县区、蕉岭县、大埔县、兴宁市、五华县、平远县)
红河哈尼族彝族自治州(建水县、弥勒市、开远市、泸西县、绿春县、屏边苗族自治县、红河县、石屏县、河口瑶族自治县、金平苗族瑶族傣族自治县、元阳县、蒙自市、个旧市)
通化市(通化县、二道江区、柳河县、集安市、东昌区、梅河口市、辉南县)
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株洲市(芦淞区、渌口区、醴陵市、天元区、石峰区、荷塘区、攸县、茶陵县、炎陵县)
张掖市(高台县、肃南裕固族自治县、临泽县、民乐县、山丹县、甘州区)
巴音郭楞蒙古自治州(和静县、轮台县、且末县、博湖县、和硕县、若羌县、库尔勒市、尉犁县、焉耆回族自治县)
昭通市(永善县、绥江县、鲁甸县、盐津县、巧家县、彝良县、镇雄县、威信县、昭阳区、水富市、大关县)
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阜新市(阜新蒙古族自治县、彰武县、太平区、海州区、细河区、新邱区、清河门区)
随州市(广水市、随县、曾都区)
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潮州市(湘桥区、潮安区、饶平县)
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黄南藏族自治州(泽库县、同仁市、河南蒙古族自治县、尖扎县)
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凉山彝族自治州(布拖县、会理市、木里藏族自治县、甘洛县、美姑县、宁南县、盐源县、喜德县、西昌市、冕宁县、越西县、雷波县、会东县、普格县、金阳县、昭觉县、德昌县)
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阿坝藏族羌族自治州(理县、黑水县、壤塘县、红原县、汶川县、金川县、茂县、阿坝县、九寨沟县、松潘县、小金县、马尔康市、若尔盖县)
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遂宁市(蓬溪县、船山区、安居区、射洪市、大英县)
兰州市(西固区、榆中县、皋兰县、红古区、安宁区、城关区、永登县、七里河区)
毕节市(织金县、大方县、纳雍县、金沙县、黔西市、威宁彝族回族苗族自治县、七星关区、赫章县)
中国半导体设备产业动态频频,以中微公司和北方华创为代表的国内龙头企业纷纷展现强劲的增长势头和战略布局。中微公司通过大幅增资强化技术研发和市场拓展,巩固其在刻蚀设备领域的领先地位;北方华创则通过对外投资和股权收购,积极拓展业务版图,并在业绩上实现显著增长。
众所周知,中国正在加紧推进半导体的国产化进程,其中设备作为半导体产业的基石,其国产化水平决定着整个半导体产业链的自主可控程度。近期有预测称,到2025年中国大陆半导体设备整体国产化率有望达到50%,该消息引起了行业一众关注。究竟真实进展如何?
中微公司增资至40亿,增幅300%
4月21日,企查查显示,中微半导体(上海)有限公司宣布注册资本由10亿元人民币增至40亿元人民币,增幅达300%。通过增资,中微公司将进一步增强资金实力,加速技术研发和市场拓展,提升在全球半导体设备市场的竞争力。
中微公司2024年财报显示,公司实现营业收入90.65亿元,同比增长44.7%,其中刻蚀设备贡献超72亿元,同比增长54.7%,稳居国产刻蚀设备龙头。尽管净利润约16.16亿元,同比下滑9.5%,但扣非净利润约13.88亿元,同比增长16.5%。这一下滑主要受研发投入激增影响,2024年研发费用达24.5亿元,同比增长94.3%。公司创始人尹志尧表示,2024年人均销售超过400万元,达到设备产业国际先进水平。
从出货设备来看,刻蚀领域,该公司的CCP刻蚀设备2024年生产付运超过1200反应台,创历史新高,累计装机量超过4000反应台;薄膜沉积设备领域,LPCVD设备累计出货量已突破150个反应台,2024年获得约4.76亿元批量订单,ALD(原子层沉积)设备和其他关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进,EPI(外延)设备已顺利进入客户端量产验证阶段。
量测设备领域,中微公司控股子公司超微半导体设备(上海)有限公司拟增资至1.6亿元,中微公司持股比例将降至47.2%,但仍保持控制权。据悉,超微公司重点开发电子束量检测设备,该设备是芯片制造和先进封装工艺中的关键设备,对我国发展新质生产力至关重要。
今年1月,中微公司计划在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备(成都)有限公司,建设研发及生产基地暨西南总部项目。项目总投资约30.5亿元,主要用于研发薄膜设备。该公司将作为中微公司的西南总部,建设包括研发中心、生产基地和配套设施,预计2025年开工,2027年投入生产。
北方华创:拟向全资子公司增资4亿元,并参与北京电控增资
4月18日,北方华创公告,公司拟以全资子公司北方华创创新投资(北京)有限公司作为出资平台,与北京电子控股有限责任公司(以下简称“北京电控”)各出资4亿元人民币,以非公开协议方式向北京电控控股子公司北京电控产业投资有限公司增资。
据悉,电控产投将主要通过基金和股权投资方式,围绕集成电路、人工智能、物联网等应用领域,投资布局发展潜力大、技术或产品好的标的企业。此次增资总额为8亿元,其中北方华创出资4亿元,北京电控出资4亿元。增资完成后,电控产投注册资本将增至18.57亿元,北方华创持股比例为17.6847%。
资料显示,电控产投成立于2008年10月30日,注册资本12亿元,股权结构上,北京电控持有50%的股权、京东方持有33.3%股权、电子城持有16.7%股权。
值得注意的是,当前北方华创持续扩大业务布局。今年3月31日,北方华创公告,受让沈阳中科天盛自动化技术有限公司(下称“中科天盛”)持有的芯源微股份1690万股,占芯源微总股本的8.41%。更早前的3月10日,北方华创与沈阳先进制造技术产业有限公司(下称“先进制造”)签署了股份转让协议,北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份,合计1906.49万股,交易金额为16.87亿元。
受益于半导体行业回暖,北方华创业绩亮眼。2024年,北方华创实现营业收入298.38亿元,同比增长35.14%;归属于上市公司股东的净利润为56.21亿元,同比增长44.17%。该公司还发布了2025年一季度业绩预告显示,预计实现营收73.4亿元至89.8亿元,同比增长23.35%-50.91%;预计实现归母净利润14.2亿元至17.4亿元,同比增长24.69%-52.79%。
北方华创表示,2024年公司深耕半导体基础产品领域,经营业绩稳定增长。公司集成电路装备领域多款新产品取得突破,工艺覆盖度及市场占有率显著增长,产品销量同比大幅度增加。今年一季度,公司集成电路装备领域电容耦合等离子体刻蚀设备(CCP)、原子层沉积设备(ALD)、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破,工艺覆盖度显著增长,同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。凭借优良的产品、技术和服务优势,公司市场份额持续扩大,营业收入同比提升。
中国半导体设备国产化进程飙升
据SEMI数据,中国作为全球最大的半导体消费市场,强劲的市场需求为半导体设备产业的发展提供了强大动力。近年来,国内半导体设备企业在技术突破和国产替代方面持续发力并取得显著进展。以北方华创、中微公司、盛美上海等为代表的设备公司,在技术研发和市场拓展上成果斐然,逐步成为市场竞争中的重要力量。截至2024年,中国半导体设备国产化率提升至13.6%,在刻蚀、清洗、去胶和CMP设备市场,国产化率已突破双位数。尽管光刻设备与国际先进水平仍存在差距,但也取得了部分突破。
全球前五大半导体设备厂商均专注于前道设备应用,分别是应用材料、ASML、东京电子、Lam Research和科磊(KLA)。其中,应用材料、东京电子、泛林半导体是平台型企业,业务横跨刻蚀、薄膜、清洗、离子注入等多个领域,而ASML和KLA属于细分领域龙头。从行业发展趋势来看,向平台型企业发展是进入全球设备第一梯队的关键路径。
由上表可知,在中国大陆,我国目前在发展平台型设备厂商方面卓有成效的主要有北方华创、中微公司、盛美上海和万业企业,而在各细分领域也出现了诸如拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技(维权)、精测电子、中科飞测等代表性企业。
我国设备平台型企业发展情况各有不同,北方华创发展较早,已形成规模,是国内唯一成型的平台型设备企业;中微公司和盛美上海处于加速成长阶段,具备一定规模;万业企业虽处于发展初期,但明确朝着“平台型”企业的目标迈进。从企业发展体量来看,自2022年起,设备行业诞生了北方华创和晶盛机电两个百亿设备巨头。
据全球半导体观察综合中国半导体产业协会、企业财报、半导体行业咨询公司等行业各方消息可知,我国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高;在CMP、热处理、薄膜沉积领域,近几年国产化取得明显突破;然而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备领域,仍较为薄弱。
去胶设备领域来看,中国半导体国产化率在2023-2024年显著提升,尤其在成熟制程(28nm及以上,下同)和中低端市场已实现较高替代率。综合行业多方数据显示,在中低端市场,国产化率约75%-90%,主要覆盖成熟制程、功率半导体、先进封装等领域;而在高端市场上,在先进逻辑芯片(14nm以下,下同)和高端存储芯片(3DNAND/DRAM)中,国产化率仍低于30%,这部分主要依赖东京电子、LamResearch等国际厂商。目前,我国在去胶设备领域的代表企业主要有屹唐半导体、浙江宇谦、上海稷以、北方华创、盛美上海等,总体来看国产设备在“去胶+清洗”集成设备中占优。
清洗设备领域,我国国产化率已不断提高至50-60%,代表企业主要有北方华创、盛美上海、至纯科技、芯源微、屹唐半导体等。
在刻蚀设备领域,我国在成熟制程国产化率约为50%-60%,主要应用于逻辑芯片、功率半导体和存储芯片(如3DNAND);而在先进制程,国产化率不足15%,高端市场被Lam Research、东京电子、应用材料等垄断。在该领域我国主要代表企业有中微公司、北方华创、嘉芯半导体、屹唐半导体等,另外拓荆科技、盛美上海、芯源微虽然没有专门推出转有的刻蚀设备,但其部分领域设备均有涉及刻蚀工艺。
在热处理设备领域,我国国产化率约为30%-40%,主要代表企业有北方华创、晶盛机电、中微公司、拓荆科技、嘉芯半导体等,另外华海清科、拓荆科技、芯源微部分领域设备均有涉及热处理工艺,占据一定市场份额。
PVD设备领域则是北方华创、捷佳伟创、嘉芯半导体、中电科、科睿设备有限公司、中科院沈阳科学仪器、合肥科晶材料、晶盛机电、中微公司、盛美上海、拓荆科技。该领域设备国产化率还处于较低水平,约为15%-20%,其中在先进制程领域,国产化率仅为10%左右,主要依赖进口。
半导体CMP设备领域,我国在成熟制程国产化率约15%-25%,主要应用于功率半导体、MEMS传感器等领域;而在先进制程上国产化率不足10%,高端市场由应用材料、荏原制作所等垄断。我国在该领域上的代表企业主要有盛美上海、华海清科、中国电科、鼎龙控股、烁科精微等。
涂胶显影设备是光刻工艺的核心设备之一,主要用于晶圆的光刻胶涂覆、显影等步骤。在该领域,我国国产化率约为10%-15%(主要集中在封装和成熟制程),前道设备国产化率不足10%。行业消息显示,涂胶显影设备的主要挑战在于设备稳定性、工艺精度(如均匀性控制)、与光刻机的协同适配方面。我国涂胶显影设备主要代表企业则是盛美上海、芯源微、北方华创、中微公司、华峰测控等。
在离子注入设备领域,我国在成熟制程上的国产化率约10%-20%,主要应用于功率半导体、MEMS传感器等非先进逻辑芯片领域;而在先进制程国产化率不足5%,市场由应用材料、Axcelis、日立国际电气主导。目前,国产设备在中高能量(>200keV)和超低能量(<1keV)离子注入领域仍落后,束流均匀性(±3%vs国际±1%)和稳定性待提升。而在晶圆尺寸适配上,12英寸设备成熟度低,8英寸设备逐步替代进口。此外在相关重要配件上如离子源、质量分析器等长期依赖进口。该领域我国主要代表企业为凯世通、中国电科、烁科中信科、北方华创、中微公司等。
半导体量测设备包括晶圆缺陷检测、关键尺寸测量(CD-SEM)、膜厚测量(椭偏仪)、套刻精度测量等,技术门槛极高。该领域整体国产化率约为10%-15%,我国主要在中低端设备和部分细分领域取得突破,其中前道高端设备(如EUV相关检测)国产化率不足5%。目前该领域的主要发展瓶颈在于核心光学部件(如高精度激光器)、算法软件(缺陷分类与数据分析)依赖进口,设备稳定性与海外巨头存在差距。在量测领域我国主要代表企业为上海微电子、中科飞测、精测电子、华海清科、北方华创等。
在半导体光刻设备前道制造(EUV/ArF浸没式)领域,国产化率约为0%-1%。而在成熟制程光刻机(KrF/i-line,90nm及以上),国产化率约10%-15%,主要用于功率半导体、MEMS、分立器件等领域。而在封装光刻机(后道先进封装),在上海微电子主导下,国产化率不断提升。在该领域我国的主要代表企业有上海微电子、中国电科、北方华创等。据悉,上海微电子计划推出支持55nm制程的KrF光刻机,并推进28nm光刻机量产验证。
新闻结尾
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