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七台河市(勃利县、新兴区、桃山区、茄子河区)

内江市(市中区、东兴区、威远县、隆昌市、资中县)

宁夏回族自治区

安阳市(北关区、文峰区、殷都区、汤阴县、龙安区、林州市、滑县、安阳县、内黄县)

阳江市(阳西县、阳春市、江城区、阳东区)

阿里地区(革吉县、札达县、日土县、改则县、措勤县、普兰县、噶尔县)

朝阳市(喀喇沁左翼蒙古族自治县、凌源市、龙城区、双塔区、朝阳县、建平县、北票市)

通辽市(科尔沁区、科尔沁左翼中旗、扎鲁特旗、库伦旗、霍林郭勒市、开鲁县、科尔沁左翼后旗、奈曼旗)

吉安市(新干县、泰和县、永新县、峡江县、青原区、遂川县、永丰县、吉水县、安福县、吉安县、万安县、井冈山市、吉州区)

娄底市(新化县、冷水江市、娄星区、双峰县、涟源市)

泰州市(靖江市、海陵区、泰兴市、兴化市、高港区、姜堰区)

新余市(分宜县、渝水区)

合肥市(巢湖市、蜀山区、包河区、瑶海区、庐江县、肥东县、肥西县、庐阳区、长丰县)

马鞍山市(花山区、当涂县、含山县、和县、博望区、雨山区)

德宏傣族景颇族自治州(陇川县、瑞丽市、盈江县、梁河县、芒市)

黔南布依族苗族自治州(荔波县、瓮安县、长顺县、福泉市、都匀市、独山县、平塘县、三都水族自治县、罗甸县、贵定县、惠水县、龙里县)

红河哈尼族彝族自治州(红河县、河口瑶族自治县、弥勒市、开远市、元阳县、绿春县、金平苗族瑶族傣族自治县、屏边苗族自治县、石屏县、泸西县、建水县、蒙自市、个旧市)

铜仁市(玉屏侗族自治县、碧江区、石阡县、沿河土家族自治县、印江土家族苗族自治县、思南县、德江县、江口县、松桃苗族自治县、万山区)

滁州市(全椒县、来安县、明光市、凤阳县、定远县、天长市、南谯区、琅琊区)

迪庆藏族自治州(德钦县、维西傈僳族自治县、香格里拉市)

淄博市(高青县、桓台县、博山区、沂源县、临淄区、张店区、周村区、淄川区)

德阳市(广汉市、旌阳区、中江县、什邡市、罗江区、绵竹市)

鸡西市(城子河区、麻山区、虎林市、鸡东县、梨树区、密山市、鸡冠区、滴道区、恒山区)

辽源市(西安区、东辽县、东丰县、龙山区)

阜阳市(颍州区、太和县、临泉县、颍泉区、颍东区、阜南县、界首市、颍上县)

兴安盟(阿尔山市、扎赉特旗、科尔沁右翼中旗、乌兰浩特市、突泉县、科尔沁右翼前旗)

河源市(和平县、东源县、龙川县、源城区、连平县、紫金县)

保山市(隆阳区、施甸县、昌宁县、腾冲市、龙陵县)

大庆市(肇源县、杜尔伯特蒙古族自治县、龙凤区、林甸县、让胡路区、肇州县、红岗区、大同区、萨尔图区)

南平市(光泽县、邵武市、浦城县、顺昌县、武夷山市、政和县、建瓯市、延平区、建阳区、松溪县)

南充市(南部县、仪陇县、西充县、阆中市、嘉陵区、蓬安县、顺庆区、营山县、高坪区)

贵阳市(云岩区、开阳县、南明区、清镇市、息烽县、花溪区、观山湖区、白云区、乌当区、修文县)

庆阳市(庆城县、华池县、宁县、合水县、环县、镇原县、正宁县、西峰区)

伊春市(汤旺县、铁力市、伊美区、嘉荫县、大箐山县、丰林县、乌翠区、金林区、友好区、南岔县)

榆林市(米脂县、靖边县、清涧县、子洲县、绥德县、榆阳区、神木市、吴堡县、府谷县、定边县、佳县、横山区)

巴彦淖尔市(杭锦后旗、五原县、乌拉特后旗、乌拉特前旗、临河区、乌拉特中旗、磴口县)

德州市(陵城区、齐河县、平原县、德城区、乐陵市、禹城市、夏津县、临邑县、武城县、宁津县、庆云县)

台州市(三门县、黄岩区、天台县、玉环市、仙居县、路桥区、温岭市、椒江区、临海市)

宿迁市(沭阳县、泗洪县、宿城区、宿豫区、泗阳县)

钦州市(钦南区、灵山县、浦北县、钦北区)

阳泉市(平定县、城区、矿区、郊区、盂县)

楚雄彝族自治州(武定县、姚安县、南华县、大姚县、楚雄市、双柏县、永仁县、禄丰市、牟定县、元谋县)

邯郸市(肥乡区、成安县、大名县、邯山区、复兴区、丛台区、峰峰矿区、永年区、磁县、广平县、馆陶县、魏县、邱县、武安市、鸡泽县、曲周县、涉县、临漳县)

日喀则市(谢通门县、萨嘎县、桑珠孜区、南木林县、定日县、仁布县、仲巴县、昂仁县、岗巴县、亚东县、萨迦县、吉隆县、拉孜县、聂拉木县、江孜县、定结县、白朗县、康马县)

济宁市(微山县、泗水县、兖州区、曲阜市、汶上县、任城区、邹城市、梁山县、鱼台县、嘉祥县、金乡县)

长春市(榆树市、南关区、双阳区、宽城区、朝阳区、公主岭市、德惠市、农安县、九台区、二道区、绿园区)

晋中市(太谷区、榆次区、榆社县、介休市、昔阳县、平遥县、和顺县、灵石县、祁县、左权县、寿阳县)

吴忠市(青铜峡市、利通区、同心县、盐池县、红寺堡区)

白城市(大安市、洮北区、通榆县、镇赉县、洮南市)

厦门市(思明区、集美区、海沧区、湖里区、翔安区、同安区)

绥化市(青冈县、安达市、北林区、庆安县、绥棱县、肇东市、海伦市、望奎县、兰西县、明水县)

徐州市(邳州市、沛县、新沂市、铜山区、贾汪区、丰县、泉山区、睢宁县、鼓楼区、云龙区)

金华市(兰溪市、东阳市、永康市、义乌市、金东区、武义县、磐安县、婺城区、浦江县)

昭通市(镇雄县、威信县、大关县、盐津县、鲁甸县、水富市、永善县、巧家县、彝良县、昭阳区、绥江县)

扬州市(高邮市、宝应县、江都区、仪征市、广陵区、邗江区)

大兴安岭地区(呼玛县、塔河县、漠河市)

淮安市(金湖县、盱眙县、淮阴区、淮安区、涟水县、洪泽区、清江浦区)

孝感市(安陆市、应城市、汉川市、云梦县、大悟县、孝昌县、孝南区)

佳木斯市(同江市、郊区、桦川县、前进区、汤原县、抚远市、东风区、桦南县、富锦市、向阳区)

张家口市(涿鹿县、阳原县、万全区、桥西区、怀安县、桥东区、宣化区、康保县、赤城县、沽源县、张北县、崇礼区、蔚县、尚义县、下花园区、怀来县)

衡水市(饶阳县、阜城县、冀州区、武邑县、桃城区、安平县、枣强县、武强县、故城县、深州市、景县)

信阳市(固始县、新县、罗山县、商城县、浉河区、息县、平桥区、淮滨县、潢川县、光山县)

资阳市(安岳县、雁江区、乐至县)

鄂尔多斯市(康巴什区、鄂托克旗、达拉特旗、伊金霍洛旗、鄂托克前旗、乌审旗、东胜区、杭锦旗、准格尔旗)

东营市(利津县、河口区、垦利区、东营区、广饶县)

沈阳市(新民市、康平县、辽中区、法库县、沈河区、苏家屯区、沈北新区、于洪区、铁西区、浑南区、皇姑区、大东区、和平区)

广州市(黄埔区、花都区、天河区、从化区、荔湾区、白云区、番禺区、越秀区、海珠区、增城区、南沙区)

宣城市(广德市、旌德县、绩溪县、郎溪县、泾县、宁国市、宣州区)

菏泽市(巨野县、曹县、鄄城县、单县、郓城县、东明县、成武县、定陶区、牡丹区)

萍乡市(上栗县、安源区、芦溪县、湘东区、莲花县)

鹤壁市(淇滨区、山城区、鹤山区、浚县、淇县)

汉中市(城固县、勉县、西乡县、宁强县、南郑区、略阳县、佛坪县、洋县、镇巴县、留坝县、汉台区)

南京市(溧水区、栖霞区、浦口区、玄武区、鼓楼区、建邺区、高淳区、江宁区、六合区、秦淮区、雨花台区)

东莞市

池州市(石台县、贵池区、青阳县、东至县)

大理白族自治州(漾濞彝族自治县、巍山彝族回族自治县、云龙县、永平县、鹤庆县、大理市、弥渡县、宾川县、剑川县、洱源县、南涧彝族自治县、祥云县)

洛阳市(栾川县、涧西区、瀍河回族区、西工区、汝阳县、伊川县、孟津区、宜阳县、洛龙区、新安县、嵩县、老城区、偃师区、洛宁县)

达州市(大竹县、开江县、万源市、达川区、通川区、渠县、宣汉县)

宁波市(象山县、奉化区、海曙区、江北区、北仑区、慈溪市、镇海区、鄞州区、余姚市、宁海县)

巴音郭楞蒙古自治州(若羌县、焉耆回族自治县、轮台县、和硕县、且末县、博湖县、和静县、库尔勒市、尉犁县)

澳门特别行政区

盐城市(亭湖区、射阳县、盐都区、阜宁县、滨海县、响水县、东台市、建湖县、大丰区)

延安市(安塞区、延长县、洛川县、宜川县、志丹县、甘泉县、黄龙县、黄陵县、吴起县、富县、子长市、宝塔区、延川县)

枣庄市(山亭区、峄城区、台儿庄区、市中区、滕州市、薛城区)

常德市(桃源县、石门县、澧县、安乡县、临澧县、津市市、武陵区、汉寿县、鼎城区)

咸宁市(崇阳县、咸安区、通山县、通城县、嘉鱼县、赤壁市)

潍坊市(青州市、寿光市、昌乐县、高密市、昌邑市、奎文区、潍城区、坊子区、诸城市、临朐县、寒亭区、安丘市)

山南市(浪卡子县、曲松县、加查县、错那市、隆子县、贡嘎县、桑日县、琼结县、洛扎县、乃东区、扎囊县、措美县)

商洛市(商南县、柞水县、镇安县、丹凤县、山阳县、商州区、洛南县)

莆田市(涵江区、仙游县、秀屿区、荔城区、城厢区)

自贡市(沿滩区、大安区、自流井区、富顺县、贡井区、荣县)

伊犁哈萨克自治州(伊宁市、特克斯县、霍尔果斯市、伊宁县、昭苏县、巩留县、新源县、尼勒克县、霍城县、察布查尔锡伯自治县、奎屯市)

温州市(鹿城区、瑞安市、乐清市、永嘉县、龙港市、文成县、洞头区、泰顺县、瓯海区、苍南县、龙湾区、平阳县)

锡林郭勒盟(镶黄旗、阿巴嘎旗、二连浩特市、苏尼特右旗、正镶白旗、东乌珠穆沁旗、正蓝旗、锡林浩特市、苏尼特左旗、太仆寺旗、西乌珠穆沁旗、多伦县)

香港特别行政区

黄山市(歙县、祁门县、黟县、屯溪区、黄山区、徽州区、休宁县)

邵阳市(邵东市、城步苗族自治县、武冈市、隆回县、洞口县、新邵县、大祥区、双清区、北塔区、新宁县、绥宁县、邵阳县)

濮阳市(范县、清丰县、濮阳县、南乐县、华龙区、台前县)

聊城市(阳谷县、高唐县、东阿县、东昌府区、茌平区、冠县、莘县、临清市)

中国半导体设备产业动态频频,以中微公司和北方华创为代表的国内龙头企业纷纷展现强劲的增长势头和战略布局。中微公司通过大幅增资强化技术研发和市场拓展,巩固其在刻蚀设备领域的领先地位;北方华创则通过对外投资和股权收购,积极拓展业务版图,并在业绩上实现显著增长。

众所周知,中国正在加紧推进半导体的国产化进程,其中设备作为半导体产业的基石,其国产化水平决定着整个半导体产业链的自主可控程度。近期有预测称,到2025年中国大陆半导体设备整体国产化率有望达到50%,该消息引起了行业一众关注。究竟真实进展如何?

中微公司增资至40亿,增幅300%

4月21日,企查查显示,中微半导体(上海)有限公司宣布注册资本由10亿元人民币增至40亿元人民币,增幅达300%。通过增资,中微公司将进一步增强资金实力,加速技术研发和市场拓展,提升在全球半导体设备市场的竞争力。

中微公司2024年财报显示,公司实现营业收入90.65亿元,同比增长44.7%,其中刻蚀设备贡献超72亿元,同比增长54.7%,稳居国产刻蚀设备龙头。尽管净利润约16.16亿元,同比下滑9.5%,但扣非净利润约13.88亿元,同比增长16.5%。这一下滑主要受研发投入激增影响,2024年研发费用达24.5亿元,同比增长94.3%。公司创始人尹志尧表示,2024年人均销售超过400万元,达到设备产业国际先进水平。

从出货设备来看,刻蚀领域,该公司的CCP刻蚀设备2024年生产付运超过1200反应台,创历史新高,累计装机量超过4000反应台;薄膜沉积设备领域,LPCVD设备累计出货量已突破150个反应台,2024年获得约4.76亿元批量订单,ALD(原子层沉积)设备和其他关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进,EPI(外延)设备已顺利进入客户端量产验证阶段。

量测设备领域,中微公司控股子公司超微半导体设备(上海)有限公司拟增资至1.6亿元,中微公司持股比例将降至47.2%,但仍保持控制权。据悉,超微公司重点开发电子束量检测设备,该设备是芯片制造和先进封装工艺中的关键设备,对我国发展新质生产力至关重要。

今年1月,中微公司计划在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备(成都)有限公司,建设研发及生产基地暨西南总部项目。项目总投资约30.5亿元,主要用于研发薄膜设备。该公司将作为中微公司的西南总部,建设包括研发中心、生产基地和配套设施,预计2025年开工,2027年投入生产。

北方华创:拟向全资子公司增资4亿元,并参与北京电控增资

4月18日,北方华创公告,公司拟以全资子公司北方华创创新投资(北京)有限公司作为出资平台,与北京电子控股有限责任公司(以下简称“北京电控”)各出资4亿元人民币,以非公开协议方式向北京电控控股子公司北京电控产业投资有限公司增资。

据悉,电控产投将主要通过基金和股权投资方式,围绕集成电路、人工智能、物联网等应用领域,投资布局发展潜力大、技术或产品好的标的企业。此次增资总额为8亿元,其中北方华创出资4亿元,北京电控出资4亿元。增资完成后,电控产投注册资本将增至18.57亿元,北方华创持股比例为17.6847%。

资料显示,电控产投成立于2008年10月30日,注册资本12亿元,股权结构上,北京电控持有50%的股权、京东方持有33.3%股权、电子城持有16.7%股权。

值得注意的是,当前北方华创持续扩大业务布局。今年3月31日,北方华创公告,受让沈阳中科天盛自动化技术有限公司(下称“中科天盛”)持有的芯源微股份1690万股,占芯源微总股本的8.41%。更早前的3月10日,北方华创与沈阳先进制造技术产业有限公司(下称“先进制造”)签署了股份转让协议,北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份,合计1906.49万股,交易金额为16.87亿元。

受益于半导体行业回暖,北方华创业绩亮眼。2024年,北方华创实现营业收入298.38亿元,同比增长35.14%;归属于上市公司股东的净利润为56.21亿元,同比增长44.17%。该公司还发布了2025年一季度业绩预告显示,预计实现营收73.4亿元至89.8亿元,同比增长23.35%-50.91%;预计实现归母净利润14.2亿元至17.4亿元,同比增长24.69%-52.79%。

北方华创表示,2024年公司深耕半导体基础产品领域,经营业绩稳定增长。公司集成电路装备领域多款新产品取得突破,工艺覆盖度及市场占有率显著增长,产品销量同比大幅度增加。今年一季度,公司集成电路装备领域电容耦合等离子体刻蚀设备(CCP)、原子层沉积设备(ALD)、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破,工艺覆盖度显著增长,同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。凭借优良的产品、技术和服务优势,公司市场份额持续扩大,营业收入同比提升。

中国半导体设备国产化进程飙升

据SEMI数据,中国作为全球最大的半导体消费市场,强劲的市场需求为半导体设备产业的发展提供了强大动力。近年来,国内半导体设备企业在技术突破和国产替代方面持续发力并取得显著进展。以北方华创、中微公司、盛美上海等为代表的设备公司,在技术研发和市场拓展上成果斐然,逐步成为市场竞争中的重要力量。截至2024年,中国半导体设备国产化率提升至13.6%,在刻蚀、清洗、去胶和CMP设备市场,国产化率已突破双位数。尽管光刻设备与国际先进水平仍存在差距,但也取得了部分突破。

全球前五大半导体设备厂商均专注于前道设备应用,分别是应用材料、ASML、东京电子、Lam Research和科磊(KLA)。其中,应用材料、东京电子、泛林半导体是平台型企业,业务横跨刻蚀、薄膜、清洗、离子注入等多个领域,而ASML和KLA属于细分领域龙头。从行业发展趋势来看,向平台型企业发展是进入全球设备第一梯队的关键路径。

由上表可知,在中国大陆,我国目前在发展平台型设备厂商方面卓有成效的主要有北方华创、中微公司、盛美上海和万业企业,而在各细分领域也出现了诸如拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技(维权)、精测电子、中科飞测等代表性企业。

我国设备平台型企业发展情况各有不同,北方华创发展较早,已形成规模,是国内唯一成型的平台型设备企业;中微公司和盛美上海处于加速成长阶段,具备一定规模;万业企业虽处于发展初期,但明确朝着“平台型”企业的目标迈进。从企业发展体量来看,自2022年起,设备行业诞生了北方华创和晶盛机电两个百亿设备巨头。

据全球半导体观察综合中国半导体产业协会、企业财报、半导体行业咨询公司等行业各方消息可知,我国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高;在CMP、热处理、薄膜沉积领域,近几年国产化取得明显突破;然而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备领域,仍较为薄弱。

去胶设备领域来看,中国半导体国产化率在2023-2024年显著提升,尤其在成熟制程(28nm及以上,下同)和中低端市场已实现较高替代率。综合行业多方数据显示,在中低端市场,国产化率约75%-90%,主要覆盖成熟制程、功率半导体、先进封装等领域;而在高端市场上,在先进逻辑芯片(14nm以下,下同)和高端存储芯片(3DNAND/DRAM)中,国产化率仍低于30%,这部分主要依赖东京电子、LamResearch等国际厂商。目前,我国在去胶设备领域的代表企业主要有屹唐半导体、浙江宇谦、上海稷以、北方华创、盛美上海等,总体来看国产设备在“去胶+清洗”集成设备中占优。

清洗设备领域,我国国产化率已不断提高至50-60%,代表企业主要有北方华创、盛美上海、至纯科技、芯源微、屹唐半导体等。

在刻蚀设备领域,我国在成熟制程国产化率约为50%-60%,主要应用于逻辑芯片、功率半导体和存储芯片(如3DNAND);而在先进制程,国产化率不足15%,高端市场被Lam Research、东京电子、应用材料等垄断。在该领域我国主要代表企业有中微公司、北方华创、嘉芯半导体、屹唐半导体等,另外拓荆科技、盛美上海、芯源微虽然没有专门推出转有的刻蚀设备,但其部分领域设备均有涉及刻蚀工艺。

在热处理设备领域,我国国产化率约为30%-40%,主要代表企业有北方华创、晶盛机电、中微公司、拓荆科技、嘉芯半导体等,另外华海清科、拓荆科技、芯源微部分领域设备均有涉及热处理工艺,占据一定市场份额。

PVD设备领域则是北方华创、捷佳伟创、嘉芯半导体、中电科、科睿设备有限公司、中科院沈阳科学仪器、合肥科晶材料、晶盛机电、中微公司、盛美上海、拓荆科技。该领域设备国产化率还处于较低水平,约为15%-20%,其中在先进制程领域,国产化率仅为10%左右,主要依赖进口。

半导体CMP设备领域,我国在成熟制程国产化率约15%-25%,主要应用于功率半导体、MEMS传感器等领域;而在先进制程上国产化率不足10%,高端市场由应用材料、荏原制作所等垄断。我国在该领域上的代表企业主要有盛美上海、华海清科、中国电科、鼎龙控股、烁科精微等。

涂胶显影设备是光刻工艺的核心设备之一,主要用于晶圆的光刻胶涂覆、显影等步骤。在该领域,我国国产化率约为10%-15%(主要集中在封装和成熟制程),前道设备国产化率不足10%。行业消息显示,涂胶显影设备的主要挑战在于设备稳定性、工艺精度(如均匀性控制)、与光刻机的协同适配方面。我国涂胶显影设备主要代表企业则是盛美上海、芯源微、北方华创、中微公司、华峰测控等。

在离子注入设备领域,我国在成熟制程上的国产化率约10%-20%,主要应用于功率半导体、MEMS传感器等非先进逻辑芯片领域;而在先进制程国产化率不足5%,市场由应用材料、Axcelis、日立国际电气主导。目前,国产设备在中高能量(>200keV)和超低能量(<1keV)离子注入领域仍落后,束流均匀性(±3%vs国际±1%)和稳定性待提升。而在晶圆尺寸适配上,12英寸设备成熟度低,8英寸设备逐步替代进口。此外在相关重要配件上如离子源、质量分析器等长期依赖进口。该领域我国主要代表企业为凯世通、中国电科、烁科中信科、北方华创、中微公司等。

半导体量测设备包括晶圆缺陷检测、关键尺寸测量(CD-SEM)、膜厚测量(椭偏仪)、套刻精度测量等,技术门槛极高。该领域整体国产化率约为10%-15%,我国主要在中低端设备和部分细分领域取得突破,其中前道高端设备(如EUV相关检测)国产化率不足5%。目前该领域的主要发展瓶颈在于核心光学部件(如高精度激光器)、算法软件(缺陷分类与数据分析)依赖进口,设备稳定性与海外巨头存在差距。在量测领域我国主要代表企业为上海微电子、中科飞测、精测电子、华海清科、北方华创等。

在半导体光刻设备前道制造(EUV/ArF浸没式)领域,国产化率约为0%-1%。而在成熟制程光刻机(KrF/i-line,90nm及以上),国产化率约10%-15%,主要用于功率半导体、MEMS、分立器件等领域。而在封装光刻机(后道先进封装),在上海微电子主导下,国产化率不断提升。在该领域我国的主要代表企业有上海微电子、中国电科、北方华创等。据悉,上海微电子计划推出支持55nm制程的KrF光刻机,并推进28nm光刻机量产验证。

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